品牌 : | Thyracont | 是否进口 : | 否 |
产地 : | 德国 | 加工定制 : | 否 |
型号 : | VSH89DL | 测量范围 : | 100000到5×10-8Pa |
重量 : | 0.555kg | 产品适用范围 : | 真空系统 |
产品特性 : | 精度高 |
VSH89DL真空真空计·DN40CF-F ·LCD显示|德国Thyracont
VSH89DL真空真空计·DN40CF-F ·LCD显示
VSH(比VSM精度更高)
Smartline 真空计
压1000到5×10-10mbar
从大气压到真空的压力,数显真空计VSH皮拉尼/热阴极)都可以测量。
微控制器可以自动控制两个真空传感器间的相互作用。
Smartline真空计着在安全、、价廉的技术向前发展。
典型应用:
·分析仪器
·涂料厂和气相沉积
·溅射厂
·测量和控制真空
·真空炉
·过程控制
·空间模拟
优点:
·传感器测量Pirani/Bayard Alpert
·Pirani自动控制热阴极传感器
·Pirani传感器可以保证热阴极在低压时的正常操作,延长使用寿命
·和良好的重复性
·真空过程中热和电的干扰小
·测量单元体积小,例如VSH88D是20CM3
·Bayard-Alpert防风、涂钇双纤
·空气入侵不影响测量
·LED显示仪器状态和开关点
·传感器可更换
·Pirani和热阴级传感器的不同气体的校正因子可以校准压力读数
·可以连接Thyracont生产的2通道或4通道的显示器VD12/VD10
·RS485接口和其它模拟输出信号1.219-8.6V或EtherCAT
·通过按键或接口调整零点和大气压
·LCD显示(VSH88DL、VSH89DL)
·如果出现错误,屏幕闪烁红色,正常工作状态是绿色(VSH88DL,VSH89DL)
·和PLC连接方便
·数据可以远程传输(远距离500米)
·波特率9.6kBd到115kBd
·金属外壳,结实
·通过不锈钢小法兰DN 40 ISO-KF或conflat法兰DN 40 CF-F真空连接
技术参数
测量原理: Pirani/Bayard Alpert(依据气体不同)
真空接触材质: 不锈钢1.4307、Ni、W、PI、钇涂铱、玻璃
测量范围: 1000到5×10-10mbar(750到5×10-10torr),过压4bar
精度: 1000到10mbar:<30%读数
10到1×10-8mbar:<10%读数
重复性: ±2%(10到1×10-2mbar),5%(1×10-2到1×10-8mbar)
响应时间: <200ms(开关ba发射电流时是2秒)
放射电流: 自动开关10μA,100μA,1mA,2mA
Degas: 正极通电加热
供电电压: 20到30VDC
电气连接: VSH88D/DL,VSH89D/DL:SubD,15针,male,lockable
VSH88E,VSH89E:M12圆形接头,female,lockable
1x标准A,5针,2x密码D,4针
电流: 8W,同时1Wf.degas和0.8Wf.EtherCAT/继电器/LCD
操作温度: 5到60℃
存储温度: -40到65℃
烘烤温度: 法兰(电气分离)上的温度180℃
输出信号: 0到10VDC,测量范围1.219-8.6VDC,log.,0.6V/等级
负载电阻: >10KΩ(VSH88D/DL,VSH89D/DL)
串行接口: RS485:9.6kBit/s到115kBit/s,开关地址1-16
开关点: 2个开关继电器,50VAC/2A,30VDC/2A,60VA
真空连接: DN 40 ISO-KF(VSH88),DN 40 CF-F(VSH89)
防护等级: IP54(VSH88E,VSH89E),IP40(VSH88D/DL,VSH89D/D)
重量: 约555克
订货代码:
·VSH88D
真空计Pirani/Bayert Alpert,1000到5×10-10mabr,DN 40 ISO-KF连接,输出0-10V log和RS485
·VSH88DL
同VSH88D,带显示
·VSH88E
同VSH88D,输出RS485和EtherCAT
·VSH89D
真空计Pirani/Bayert Alpert,1000到5×10-10mabr,DN 40 CF-F连接,输出0-10V log和RS485
·VSH89DL
同VSH89D,带显示
·VSH89E
同VSH89D,输出RS485和EtherCAT
配件:
·W1515002
带VD12和VD10的真空计VSH88D/DL和VSH89D/DL的连接线,线长2米
·W1515006
同W1515002,线长6米
·W1515020
同W1515002,线长20米
·B_VSH88
传感器探头,DN 40 ISO-KF,f.VSH88
·B_VSH89
传感器探头,DN 40 CF-F,f.VSH89