| 品牌 : | 山东尚美 | 导热系数 : | 45（1200℃） |
| 耐火温度 : | 1300 | 规格 : | 根据客户需求定制 |
| 产地 : | 山东省潍坊市 |
碳化硅悬臂浆 半导体晶圆装载系统 碳化硅陶瓷 山东尚美
应烧结碳化硅悬臂浆，是半导体晶圆装载系统的关键部件。光伏新能源行业用的碳化硅桨，主要规格2378毫米，2550毫米，2660毫米等
应用在扩散炉中对多晶硅硅片或单晶硅硅片的（扩散）涂层过程中，对硅片在高温环境中（1000---1300℃）的承载输送作用。
悬臂浆性能稳定，在高温环境下不变形，晶圆装载力大，适用于机器人自动装载和搬运系统。由于悬臂浆截面稳定不变形，使得利用现有的炉管制备更大规格晶圆成为可能。悬臂浆与LPCVD涂层的热膨胀系数相近，应用于LPCVD，极大地延长了维护清洗的周期，并大幅减少污染物。
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