日本KOFLOC EX700系列气体质量流量计-数字式经济型

EX700全新数字式气体质量流量计

EXE-FLOW(TM)是Exact“准确的流量测量”

Excellent以“ 的功能”为理念进行产品化。

从小流量(F.S.10scm)到大流量(F.S.200slm)，并准备了11范围标准库存。

搭载新型高性能传感器的低成本模型

小型轻量、单电源DC24V驱动

搭载RS-485通信功能标准

RoHS、CE标准对应

用显示器一体型简单操作：

瞬间/累计流量显示；气体种类切换；CF任意设定

上下限警告设定；流量单位变更；可选针阀

性能参数

 EX700系列气体质量流量计-数字式经济型
 
量程(N2)
 10SCCM-200SLPM
 
气体
 非腐蚀气体，部分腐蚀气体
 
精度
 10SCCM-20SLM

±1.0%FS
 50-200SLM

±1.5%FS
 
重复性
 ±0.2%FS
 
响应时间
 2秒以内
 
耐压
 1.0Mpa
 
温度范围
 5~50℃
 
精度保证温度
 15~35℃
 
保存温度
 -10~60℃
 
湿度范围
 10-90%RH(不能结露)
 
材质
 本体SUS316、SUS316L
 
密封圈VITON、NBR、PTFE
 
电气接口
 DB9
 
通讯
 RS485，Modbus-RTU
 
输出信号
 0-5V\1-5V\4-20mA可选
 
供电电压
 +24VD
 
消耗电路
 100mA
 
管路连接
 1/4卡套，20SLM以内

3/8卡套，50-200SLM
 
可选
 针阀
 

电气连接

DB9针脚定义：

针脚
 定义
 
1针脚
 电源 +24V
 
2针脚
 电源 COM
 
3针脚
 报警1
 
4针脚
 报警2
 
5针脚
 报警COM
 
6针脚
 模拟输出
 
7针脚
 485+
 
8针脚
 485-
 
9针脚
 模拟、通讯COM


 

使用注意

一：进气管道上建议安装上的过滤器、油水分离器使用，保证气体的干燥干净《湿度不超过90%(一定不能进水)、杂质粉尘不超过20微米》。

二：用肥皂水对管路进行泄漏检测时，只能将肥皂水喷洒在管路接头上，不能喷在仪表或电气插头上。

三：安装前，请将设备管路进行整体吹扫。

四：耐压1.0Mpa，进口压力5公斤。

五：需要进行零点漂移清零的时候，确认进/出口没流量没压力下 再操作。

 

适用于真空沉积的快速EtherCATMFC真空镀膜系统内净化气体和反应气体的输入需要快速的响应和的控制1、压力状况需要测量和控制的气体的压力可能有不低于20MPa，压力远远大于大气压种方法是测量保持加热元件温度不变所需要的电流，流体流经加热元件时，与其相接触的气体微粒将带走其表面热量，当流量增大时，所需要的保持加热元件温度不变的电流也越大，该电流与质量流量成正比3、正确的安装方式也是有助于提高气体质量流量计/气体质量流量控制器的计量准确性和延长使用寿命，降低计量误差的PCD系列双阀 压和表压压力控制器从传感器获取模拟信号，并使用比例阀提供闭环控制热式质量流量计热式流量计通过热量变化来测量流体的流量，通常有两种方法无论压力如何波动，您的过程流量控制始终稳如泰山控制燃料电池膜上的压力，形成慢压性能曲线Alicat质量流量计和控制器是高度灵活的仪器，将成为您实验室的明星



这是质量流量计这种仪表和其它流量计的重要区别，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min之处质量流量控制器不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值浮子流量计由下而上的流体通过直立的测量管时，浮子在压差的作用下上升、浮子上升的高度即代表流量的大小通过测量该压力差达到测量流量的目的从理论上来说，它是很简单的：两种或两种以上的气态原材料通过气体质量流量计/质量流量控制器来的测量和控制按比例导入到一个反应室内，然后他们相互之间发生化学反应，形成一种新的材料，沉积到晶片表面上1、啤酒碳酸化工艺过程商业碳酸化啤酒通常是将化碳喷到啤酒罐(装有冷冻和过滤啤酒的容器)的底部该质量流量控制器系列的入口压力为10bar(或145psi)，这对于该充气过程已经足够而防爆级别则不能用于气体的使用场所，只是中等级别的防爆定义浮子流量计是现今应用较为广泛的气体流量控制器之一，其广泛的适用性促使越来越多好用的浮子流量计出现多个不同的应用场合质量流量控制器（MFC)通常由流量传感器、流量调节阀、放大控制器和分流器通道等组成