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中图仪器SJ6000激光干涉仪测量数控机床精度图1中图仪器SJ6000激光干涉仪测量数控机床精度图2
详情信息
加工定制 : 类型 : 激光干涉仪
品牌 : 中图仪器 型号 : SJ6000
品种 : 激光干涉仪 测量范围 : ±10°
测量分辨率 : 0.1nm 用途 : 诊断校准导轨运动精度

中图仪器是一家集光、机、电、信息技术于一体的高新技术企业,一直坚持以技术创新为发展基础,致力于精密测量、计量检测等仪器设备的研发、生产和销售。其研发生产的SJ6000激光干涉仪广泛应用于精密检测仪器、机床、3D打印设备、自动化设备、线性位移平台、三坐标、机器人、精密机械设备等领域的线性测量。



产品参数


激光干涉仪测量数控机床精度原理:迈克尔逊干涉原理


1、从SJ6000激光干涉仪主机出射的激光束(圆偏振光)通过分光镜后,将分成两束激光(线偏振光);

2、两束激光分别经由角锥反射镜A和角锥反射镜B反射后平行于出射光(红色线条)返回,通过分光镜后进行叠加,由于两束激光频率相同、振动方向相同且相位差恒定,即满足干涉条件;

3、角锥反射镜B每移动半个激光波长的距离,将会产生一次完整的明暗干涉现象。测量距离等于干涉条纹数乘以激光半波长。


SJ6000激光干涉仪采用高性能氦氖激光器,其寿命可达50000小时;采用高速干涉信号采集、调理及细分技术,可实现高4m/s的测量速度,以及纳米级的分辨率;采用激光双纵模热稳频技术,可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出;采用高精度环境补偿模块,可实现激光波长和材料的自动补偿;采用高性能计算机控制系统及软件技术,支持中文、英文和俄文语言,友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。在数控机床精度测量方面,丰富的模块化组件可根据具体测量需求而选择,结合不同的光学镜组,可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。


测量机床偏摆角度


测量机床回转轴精度


测量机床垂直度


SJ6000激光干涉仪测量数控机床具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点,其中,线性镜组为标配,由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析,以及反向间隙修正和螺距补偿。


配件与证书

配件


注意事项

  • 对角线测量套装配置需求:对角线测量套装+可调转向镜

  • 平面度测量配置需求:平面度镜组+角度镜组

  • 平行度测量配置需求:依据轴向量程范围,选择相应直线度镜组即可

  • 短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求:短直线度镜组+垂直度镜组

  • 长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求:长直线度镜组+垂直度镜组

  • 直线度附件:主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量


证书


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