中图仪器是一家集光、机、电、信息技术于一体的高新技术企业，一直坚持以技术创新为发展基础，致力于精密测量、计量检测等仪器设备的研发、生产和销售。其研发生产的SJ6000激光干涉仪广泛应用于精密检测仪器、机床、3D打印设备、自动化设备、线性位移平台、三坐标、机器人、精密机械设备等领域的线性测量。

产品参数

激光干涉仪测量数控机床精度原理：迈克尔逊干涉原理

1、从SJ6000激光干涉仪主机出射的激光束（圆偏振光）通过分光镜后，将分成两束激光（线偏振光）；

2、两束激光分别经由角锥反射镜A和角锥反射镜B反射后平行于出射光（红色线条）返回，通过分光镜后进行叠加，由于两束激光频率相同、振动方向相同且相位差恒定，即满足干涉条件；

3、角锥反射镜B每移动半个激光波长的距离，将会产生一次完整的明暗干涉现象。测量距离等于干涉条纹数乘以激光半波长。

SJ6000激光干涉仪采用高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时；采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现高4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率；采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；采用高性能计算机控制系统及软件技术，支持中文、英文和俄文语言，友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。在数控机床精度测量方面，丰富的模块化组件可根据具体测量需求而选择，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。

测量机床偏摆角度

测量机床回转轴精度

测量机床垂直度

SJ6000激光干涉仪测量数控机床具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点，其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。

配件与证书

配件

注意事项

• 对角线测量套装配置需求：对角线测量套装＋可调转向镜

• 平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组

• 平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可

• 短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组

• 长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组

• 直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量

证书