seline;line-height: 150%">1） 采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和优异的3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；

seline;line-height: 150%">2） 独特的隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上 大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得极高的测量重复性；

seline;line-height: 150%">2、 一体化操作的测量分析软件

seline;line-height: 150%">1） 测量与分析同界面操作，无须切换，测量数据自动统计，实现了快速批量测量的功能；

seline;line-height: 150%">2） 可视化窗口，便于用户实时观察扫描过程；

seline;line-height: 150%">3） 结合自定义分析模板的自动化测量功能，可自动完成多区域的测量与分析过程；

seline;line-height: 150%">4） 几何分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析五大功能模块齐全；

seline;line-height: 150%">5） 一键分析、多文件分析，自由组合分析项保存为分析模板，批量样品一键分析，并提供数据分析与统计图表功能；

seline;line-height: 150%">6） 可测依据ISO/ASME/EUR/GBT等标准的多达300余种2D、3D参数。

seline;line-height: 150%">3、 精密操纵手柄

seline;line-height: 150%">集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。

seline;line-height: 150%">4、 双通道气浮隔振系统

seline;line-height: 150%">既可以接入客户现场的稳定气源也可以采用便携加压装置直接加压充气的双通道气浮隔振系统，在无外接气源的条件下也可稳定工作。

六、技术指标

1.技术规格表

注：粗糙度性能参数依据ISO 25178国际标准在实验室环境下测量Sa为0.2nm硅晶片Sq参数获得；

台阶高性能参数为在实验室环境下测量4.7µm台阶高标准块获得。

2．仪器尺寸（长×宽×高）： 主机：900×700×604㎜； 

3．仪器主机重量：小于150Kg； 

seline">4．使用环境：无强磁场，无腐蚀气体

seline">工作温度：15 30，温度梯度 < 1/15分钟

seline">相对湿度：5-95RH，无凝露

seline">环境振动：VC-C或更优

seline">隔振气源：0.6Mpa稳压清洁气源，除油、除水，气管直径6㎜

七、 产品配置清单

标准配置： 

1) SuperView W1主机

2) 影像系统：1024×1024

3) 光学Zoom：1×

4) XY位移载物台：自动位移台

5) 品牌计算机

6) 系统校准模组

7) 操纵手柄

8) 中图W1光学3D表面轮廓仪软件

9) 电气控制柜

10) 仪器配件箱

11) 便携加压充气装置一套

12) 产品使用说明书

13) 产品合格证、保修卡

可选配置：

1） 干涉物镜：2.5×、5×、10×、20×、50×、100×

seline;line-height:150%">2） 光学zoom：0.5 ×、0.75×；

seline;line-height:150%">3） 真空吸附台(半导体晶圆片专用)：6寸、8寸;

seline;line-height:150%">4） 自动测量拼接测量功能模块（须硬件支持）；